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高精度位移傳感器
 

光纖同軸位移傳感器

ZW系列

超小型、超輕量。無論是什么材質都可穩定測量。

超小型、超輕量

可安裝到其它裝置的狹小空間內

這是一款很容易安裝到其它裝置、24mm的小型輕量傳感器探頭。

ZW系列 特點 2

安裝面積減小到1/7*

*與本公司過去的產品相比

過去的三角測距中,根據不同材質,使用必須區分漫反射•正反射安裝。但是,ZW系列為同軸共焦點,因此不必變更安裝方式。

ZW系列 特點 3

互不干涉地排列安裝

ZW系列 特點 4

使用過去的三角測距傳感器時,由于相互干涉或受裝置空間的限制,有時甚至無法安裝在需要測量的位置,如果使用小型ZW系列,可進行多點•排列安裝。

無論什么樣的材質都可穩定測量,具有優異的角度特性

即使多種材質混在一起,按照同一安裝方式也可穩定測量

不用針對每種材料進行傳感器的重新安裝或功能的調節,對于多種材質混在一起的對象物也可用1個傳感器,一種安裝連續測量。

ZW系列 特點 6

在材質變化節點處也可穩定測量

ZW系列 特點 7
ZW系列 特點 8

(所記載的測量曲線圖都是代表例。)

優異的角度特性

按照過去的三角測距方式,測量鏡面體時,傳感器的安裝角度不同,性能可能會發生很大的下降。
在玻璃輸送高度控制等使用多個傳感器的應用中,安裝時必須對各傳感器進行高精度的角度調整。
使用同軸共焦點ZW系列時,無需嚴格的角度調整就可進行高精度測量。
因此,即可降低調整夾具的成本、空間,也可縮短調整時間。

* 這不是保證值
 關于代表例請參考樣本

ZW系列 特點 9

堅固的傳感器探頭構造

無干擾【減少因采取EMC措施所需工時數】

不受干擾影響

ZW系列 特點 13

為了使用一般傳感器進行高精度測量,必須采取相應措施,以避免周圍設備發生的電磁干擾的影響。但在ZW系列傳感器探頭中不存在受干擾影響的電子部件,即使安裝在動力部附近也可進行穩定測量。而且,連接傳感器探頭和控制器的光纖,即使布置在動力線等容易產生干擾的電纜附近,也不受其影響。

不產生干擾

ZW系列 特點 14

在ZW系列傳感器探頭或光纖中不存在電子部件,不會產生電磁干擾,因此可放心用于組裝有各種儀器設備的裝置中。

發熱量為零【可減少散熱設計所需工時】

ZW系列 特點 15

高精度控制裝置設備時,傳感器探頭產生的熱量一般會對周圍的設備元件產生影響,成為發生誤差的原因之一。由于ZW系列傳感器探頭中沒有發熱源,不會對周圍的機器設備造成影響。另外,在需要比鄰安裝多個傳感器探頭的應用中也可放心使用。

無電子部件【減少維修保養成本】

ZW系列 特點 16

由于位移傳感器大多數安裝部位會受到工作部等部位所產生振動的影響,因此不容易損壞也是很重要的。ZW系列傳感器探頭僅由鏡頭和光纖構成,不含電子部件和基板。
構成部件數與過去的三角測距相比大幅減少,是一種不易發生故障的結構,維修保養次數也大幅減少。另外,由于使用LED光,不必采取激光光源那樣嚴格的安全措施。

設備控制網絡EtherCAT

EtherCAT是一種經過優化非常適用于設備控制的高速開放網絡。為了以更高的精度、更有效率地設計利用感測結果控制設備動作的設備控制應用,經過不斷發展。已經開始在歐姆龍的位移傳感器ZW內進行EtherCAT通訊升級。

高度信息無位置坐標的結合

利用Eth而CAT與伺服驅動器或編碼器輸入子機相連接,可高速獲得位置坐標和ZW的位移量。由于高度信息與XY位置坐標很容易建立聯動關系,因此在設備控制用途中,可提高與高度相關的加工精度,在檢驗用途中,可在異常部位判定,傾向管理等維修保養方面發揮作用。

ZW系列 特點 18
 
 
 
ZS-HL

2D CMOS激光型

ZS-HL

超高性能傳感器支持大范圍超精確測量的核心質量

超高性能傳感器支持大范圍超精確測量的核心質量

測量中心距離為20 ~ 1,500 mm的各種型號。
最大分辨率達0.25 μm。
最大響應速度達110 μs。
支持并行輸出。

ZS-HL 特點 3 ZS-HL_Features1
ZS-HL 特點 4 ZS-HL_Features2
ZS-HL 特點 5 ZS-HL_Features3

超穩定性

最佳尺寸/穩定性
傳感器尺寸

重視性能的最佳傳感器頭尺寸和3點式固定構造確保出眾的傳感穩定性。(參見注釋)

ZS-HL 特點 9 ZS-HL_Features4

注:ZS-HLDS2T 不可用。

卓越的移動分辨率
透視分辨率提升

通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率,使光學系統最優化,從而大幅度降低移動分辨率誤差(因工件表面位置引起的誤差)。

ZS-HL 特點 13 ZS-HL_Features5

材質間誤差降低
2維CMOS

CCD在受光量過多時電荷會溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現象,不會受不同材質或受光過多導致的光量變動影響。

ZS-HL 特點 16 ZS-HL_Features6
ZS-HL 特點 17

降低決定測量精度的不同物體之間的差異。
因此,可以更方便地應用于檢測對象物。

ZS-HL 特點 19 ZS-HL_Features7
ZS-HL 特點 21 ZS-HL_Features8
ZS-HL 特點 22 ZS-HL_Features9
ZS-HL 特點 23

行業首創的1,500mm長距離檢測,可以測量以往無法測量的點。

ZS-HL 特點 25 ZS-HL_Features10
ZS-HL 特點 27 ZS-HL_Features11

注:此功能可能在明亮環境中無效。

ZS-HL 特點 29

可穩定測量傾斜工件和移動工件。

ZS-HL 特點 31 ZS-HL_Features12
ZS-HL 特點 32 ZS-HL_Features13

專門為ZS-HLDS2VT開發的非球面透鏡,采用的光學結構設計最適用于正反射工件。顯著擴大了允許傾斜的角度,并提高了測量透明工件和正反射工件的穩定性。

ZS-HL 特點 34 ZS-HL_Features14
ZS-HL 特點 35

在半導體晶圓片、玻璃等要求精度高的測量上具有壓倒性的優勢。

ZS-HL 特點 37 ZS-HL_Features15

令人難以置信的測量精度0.25μm,同級產品的最高水平。

ZS-HL 特點 40 ZS-HL_Features17

密封調和器的高度控制

ZS-HL 特點 42 ZS-HL_Features18

HDD用電機旋轉座的光盤播放檢查

ZS-HL 特點 44 ZS-HL_Features19 
 
 
ZS-L

2D CMOS激光型

ZS-L

最適合各種高精度檢測的標準傳感器位移測量,包括點檢測、大范圍檢測和長距離檢測

最適合各種高精度檢測的標準傳感器位移測量,包括點檢測、大范圍檢測和長距離檢測

光束形狀
點/線光束選擇
各種產品
長距離型、中距離型和短距離型

ZS-L 特點 3 ZS-L_Features1

同類產品中最小型的傳感器頭中蘊含著先進的傳感技術

同等產品中的最小尺寸(65×65mm)
傳感器頭尺寸統一
線/點光束型
可檢測黑色橡膠、鏡面、透明工作

ZS-L 特點 6 ZS-L_Feature3
ZS-L 特點 7 ZS-L_Feature4

PCB、黑樹脂、金屬的穩定測量

只需選擇合適測量模式、即可實現PCB、樹脂、黑色橡膠及其他透光工作的穩定檢測(使用以往的反射型激光位移傳感器不易處理這些工件)。

ZS-L 特點 10 ZS-L_Features5

穩定測量玻璃

在工作臺上穩定測量透明、覆膜、有色玻璃的高度、彎度。
通過2mm線光束實現40mm的長距離穩定測量。
2mm的線光束可降低花崗巖工作臺的黑白圖案的影響,實現穩定測量

ZS-L 特點 13 ZS-L_Features7

注重穩定測量的線光束型傳感器

線光束的平均化效果不易受物體表面凹凸影響,可實現穩定的測量。
適用于希望不受工件表面影響取得穩定測量的場合。

ZS-L 特點 16 ZS-L_Features8

適用于微小工件和形狀測量的點光束型傳感器

適用于目標測量區域微小、需要激光光束定位再現微小形狀的測量。

ZS-L 特點 19 ZS-L_Features9

通過簡單易用的HMI實現輕松檢測

只需選擇高精度模式即可穩定測量黑色橡膠
只需選擇透過模式即可穩定測量PCB或黑色樹脂。

ZS-L 特點 22 ZS-L_Features10 
 
 
 
Z300

高精度可視位移計

Z300

采用2維CCD方式。驅動圖像處理技術的新型位移計

 

Z4M-T30V / T30V2

正反射式CCD位移傳感器

Z4M-T30V / T30V2

準確捕捉透明體的表面變位

 
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